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为满足大尺寸平板显示器对原子力计量学日益增长的需求，Park NX-TSH尖端扫描头能够巧妙地处理超过300毫米样品的纳米计量学。其尖端扫描头和龙门式空气轴承阶段能够实现精确的粗糙度、台阶高度和关键尺寸测量。作为一种高精度和非破坏性的方法，使用Park NX-TSH进行的原子力显微镜可以为OLED、LCD、光掩模等提供可靠的高分辨率AFM图像。
随着对大型平板显示器原子力显微镜计量需求的增加，Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战。Park NX-TSH能获得高分辨率的表面粗糙度测量，台阶高度测量和关键尺寸测量。 为OLED面板行业整片测量，超高尺寸镜片测量，提供全自动的原子力显微镜计量解决方案。
The automated Atomic Force Microscopy (AFM) system for ultra large and heavy flat panel displays at nanoscale. As the demand for Atomic Force Metrology for larger flat panel displays increases, Park NX-Tip Scan Head overcomes nanometrology challenges for samples over 300mm. The Tip Scanning Head and gantry style air-bearing stage allows Park NX-TSH to accurately image roughness measurement, step height measurement, critical dimension measurement. Atomic force microscopy is the most accurate, and non-destructive, method of measuring samples at nanoscale and with Park NX-TSH, reliable, high resolution AFM images can be obtained on OLEDs, LCDs, photomasks and more.
In the realm of large panel display manufacturing, especially for samples exceeding 300 mm, the need for precise metrology is paramount. This sector faces the challenge of accurately measuring and analyzing nanoscale features on large substrates, a task crucial for ensuring the quality and performance of final products like OLEDs and LCDs. Park Systems responds to this challenge with specialized AFM for large panel scanning.
专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计 Park原子力显微镜公司已经扩展了原子力显微镜设备的测量尺寸，Park NX-TSH（龙门架设计平板式探针扫描器）可针对第八代及大于第八代的所有大型平板显示器进行测量。专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，样品尺寸上限可达2200 mm。
Park原子力显微镜公司已经扩展了原子力显微镜设备的测量尺寸，Park NX-TSH（龙门架设计平板式探针扫描器）可针对第八代及大于第八代的所有大型平板显示器进行测量。专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，样品尺寸上限可达2200 mm。
使用导电原子力显微镜，Park NX-TSH 使用可选探针站测量样品表面，该探针站接触样品表面并向小设备或晶圆片上的设备提供电流。Park NX-TSH用于带有导电原子力显微镜的2D编码器样品，通过集成微探针站进行电气缺陷分析。
Park NX-TSH 尖端扫描头系统为生产下一代平板显示器的制造商提供了增强的灵活性和精度。通过将样品固定在夹盘上并使用龙门架安装的尖端扫描头，它有效地克服了样品尺寸和重量的限制。专门为应对超过300毫米阈值限制的工厂面临的挑战而开发，Park NX-TSH 提供了全面的解决方案。通过导电AFM功能，它能够精确测量样品表面，此外还通过可选探针站进一步增强，这些探针站有助于将电流引入晶圆上的器件。
NX-TSH配备自动化软件，使用测量程序便可获得精准的多点分析，并对悬臂梁调谐、扫描速率、增益和设定点参数进行优化设置。 Park人性化设计的软件可使用户自由访问NX-TSH的全部功能并获得所需的测量值。 创建新的测量程序其实很简单，从开始创建到能够自动化运行只需大约10分钟的时间，而对创建过的程序进行修改的话也只需不到5分钟。
XY扫描器由对称的二维挠曲和高强度压电叠层组成，它微小化的面外运动能提供高度的正交扫描，用超快的响应来完成纳米尺度上精准的样品扫描。
NX-TSH利用其超低噪声Z检测器代替了通常使用的非线性Z电压信号，可为用户提供高精度测量。业界引领的低噪声Z检测器取代了所施加的Z电压作为形貌信号。
Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战，可扫描出高分辨率图像。